نقل الكواشف الكيميائية عالية النقاء

في تصنيع أشباه الموصلات ، حتى كميات صغيرة للغاية من الأيونات المعدنية ، أو شوائب الجسيمات ، أو الملوثات العضوية يمكن أن يكون لها عواقب وخيمة. يمكن أن تغير هذه الشوائب مسارات نقل الإلكترون داخل الشريحة ، وتزيد من المقاومة ، وتؤدي إلى إفراط في توليد الحرارة وتدهور الأداء. يمكن أن تتسبب الشوائب أيضًا في السراويل القصيرة والقضايا الأخرى ، مما يجعل الشريحة غير صالحة للعمل. وفقًا للبحث ذي الصلة ، يمكن أن تصل خسائر العائد بسبب قضايا النقاء في الكواشف الكيميائية في عملية تصنيع الرقائق إلى 20 ٪ - 30 ٪ ، وهو ما لا شك فيه أنه يمثل تحديًا كبيرًا لصناعة أشباه الموصلات ، والتي تتبع دقة عالية وناتجة عالية.

الدور الرئيسي لمضخات القيادة المغناطيسية فيه

في عملية تصنيع أشباه الموصلات بأكملها ، تضمن مضخات القيادة المغناطيسية استمرارية نقل الكاشف الكيميائي. تضمن عمليتهم المستمرة والمستقرة إمدادات الكواشف الكيميائية اللازمة في الوقت المناسب لعمليات مختلفة ، وتجنب توقف الإنتاج بسبب انقطاع إمدادات الكاشف. أخذ عملية ترسب الفيلم كمثال ، من الضروري توفير غازات محددة بشكل مستمر وكواشف كيميائية سائلة لغرفة التفاعل. يضمن التشغيل المستقر للمضخة الكيميائية استمرارية عملية الترسيب ، مما يسمح بنمو الأفلام الموحدة وضمان الخصائص الكهربائية وموثوقية الشريحة.

كنوع من المضخة الكيميائية التي تفضلها للغاية في صناعة أشباه الموصلات ، فإن أكبر تسليط الضوء على مضخة القيادة المغناطيسية تكمن في تصميمها الفريد بدون أختام ميكانيكية. يستخدم اقتران مغناطيسي لتحقيق انتقال الطاقة ، ويتفاعل عمود المضخة ورمح المحرك مع بعضهما البعض من خلال القوة المغناطيسية ، دون الحاجة إلى أجهزة الختم الميكانيكية التقليدية. يشبه هذا التصميم المختوم بالكامل وضع "درع وقائي" قوي للكواشف الكيميائية ، مما يلغي بشكل أساسي إمكانية التسرب المتوسط. في عملية تصنيع أشباه الموصلات ، حتى التسريبات الصغيرة للغاية يمكن أن تسبب مشاكل في التلوث الخطيرة ، وظهور المضخات المغناطيسية يحل هذا الخطر الخفي تمامًا. في عملية نقل مقاوم الضوء ، يمكن للمضخة المغناطيسية أن تضمن أن مقاوم الضوئي يتدفق بشكل ثابت في خط أنابيب مغلق دون أي تسرب ، وبالتالي ضمان نقاء عالية للمقاود الضوئي. في نقل حمض الهيدروفلوريك إلكترونيًا عالي النقاء ، تتجنب الخصائص المختومة بالكامل للمضخة المغناطيسية بشكل فعال التلامس بين حمض الهيدروفلوريك والهواء الخارجي ، ومنع حدوث نقاء من حمض الهيدروفلوريك ولا يؤثر على التضمين المسبق ، مما يوفر التضمين المفرد ، مما يوفر التضمين المفرد ، مما يوفر تدميرًا متمردًا ، مما يوفر التضمين المتبادل ، مما يوفر التضمين المتبادل ، مما يوفر التضمين المتبادل. العمليات.